[오피니언] 중국판 ‘EUV’가 만들 파장

– 중국은 ASML 수준의 EUV를 만드는 것보다, 중국 안에서 쓸 수 있는 EUV를 먼저 확보하려 할 가능성이 높다 – 그...

삼성이 1조 투자한, 인간이 만든 가장 복잡한 기계 ‘High-NA EUV’

반도체의 승부는 이제 선폭을 미세하게 줄이는 경쟁이 아니라, 그 미세한 패턴에서 생기는 결함을 얼마나 빨리 찾아내고 원자 단위로 복구하느냐에 달려...